組合濺射技術為用戶提供了廣泛的新材料開發能力，該設備將迅速幫助客戶確定特定應用所需的合適成分，從而節省大量時間和金錢，可以單次測試100種獨特的成分。
技術特點：
? 設備可以采用直徑從50毫米到超過300毫米的圓形基板以及方形基板
? 設備可安裝最多六個磁控濺射陰極，配置1.5英寸或2英寸的靶材
? 濺射陰極可以安裝在升降臺上，以提供不同的沉積速率。根據不同的要求，測試襯墊的尺寸可以從大約4 mm到超過25 mm，可以在現場使用軟件輕松更改和重復測試
? 設備包括升降臺上的石英晶體微天平，以在各種不同條件下提供每個源的校準，包括腔體氣體成分、壓力和流速、電源功率和靶基距等，所有數據都存儲在查找表中
? 化合物可以是二元、三元或四元，元素的占比可以從小于1%到超過99%
? 所有系統均完全由計算機控制，并提供所有相關沉積參數的完整數據記錄
