全部 離子束濺射鍍膜設備 等離子輔助反應磁控濺射設備 后氧化鍍膜設備 DLC鍍膜系統 研發用磁控濺射鍍膜設備 脈沖激光沉積設備（PLD) CVD鍍膜設備 離子束刻蝕設備 連續鍍膜設備 卷繞鍍膜設備 功能涂層水浴沉積設備 多層硬質涂層雙相沉積設備 CIGS柔性鍍膜 OCP光控系統 離子源 磁控濺射陰極